| Обозначение | ISO 23216:2021 |
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Пленки на основе углерода. Определение оптических свойств аморфных углеродных пленок с применением спектроскопической эллипсометрии |
| Заглавие на английском языке | Carbon based films Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry |
| Код КС (ОКС, МКС) | 25.220.99 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 107 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 1 |
| Дата опубликования | 04.05.2021 |
| Количество страниц оригинала | 14 |
| Код цены | B |
| Примечание | |
 |