Постоянная ссылка
https://www.standards.ru/document/6881348.aspx

ASTM F3166-16

Standard Specification for High-Purity Titanium Sputtering Target Used for Through-Silicon Vias (TSV) Metallization

На языке оригиналаПоложить в корзину
Оригинал+переводПоложить в корзину
Заказать перевод

Библиография

ОбозначениеASTM F3166-16
Заглавие на английском языкеStandard Specification for High-Purity Titanium Sputtering Target Used for Through-Silicon Vias (TSV) Metallization
Количество страниц оригинала5