ASTM F3192-16
Standard Specification for High-Purity Copper Sputtering Target Used for Through-Silicon Vias (TSV) Mettalization
Оригинал+перевод
На языке оригинала
Заказать перевод
Библиография
Обозначение
ASTM F3192-16
Заглавие на английском языке
Standard Specification for High-Purity Copper Sputtering Target Used for Through-Silicon Vias (TSV) Mettalization
Количество страниц оригинала
5
Постоянная ссылка
https://www.standards.ru/document/6891505.aspx