Обозначение | ISO 14644-10:2022 |
Статус | Действует |
Вид стандарта | ST |
Заглавие на русском языке | Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Оценка чистоты поверхности на наличие химического загрязнения |
Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination |
Код КС (ОКС, МКС) | 13.040.35 |
Обозначение заменяемого(ых) | ISO 14644-10:2013 |
ТК – разработчик стандарта | TC 209 |
Язык оригинала | английский |
Номер издания | 2 |
Дата опубликования | 04.05.2022 |
Количество страниц оригинала | 36 |
Код цены | E |
Примечание | |
|