Обозначение | ISO 14644-9:2022 |
Статус | Действует |
Вид стандарта | ST |
Заглавие на русском языке | Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Оценка чистоты поверхностей по концентрации частиц |
Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle concentration |
Код КС (ОКС, МКС) | 13.040.35 |
Обозначение заменяемого(ых) | ISO 14644-9:2012 |
ТК – разработчик стандарта | TC 209 |
Язык оригинала | английский |
Номер издания | 2 |
Дата опубликования | 09.05.2022 |
Количество страниц оригинала | 34 |
Код цены | D |
Примечание | |
 |