| Обозначение | ISO 23170:2022 |
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Профилирование глубины. Неразрушающее профилирование глубины наноразмерных тонких пленок оксида тяжелого металла на подложках Si с рассеянием ионов средней энергии |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis Depth profiling Non-destructive depth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films on Si substrates with medium energy ion scattering |
| Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 4 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 1 |
| Дата опубликования | 15.06.2022 |
| Количество страниц оригинала | 36 |
| Код цены | E |
| Примечание | |
 |