| Обозначение | IEC 62047-42(2022) |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 42. Методы измерения характеристик электромеханического преобразования пьезоэлектрического МЭМС-кантилевера |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 42: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 16.09.2022 |
| Язык оригинала | английский |
| Количество страниц оригинала | 22 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | F |
 |