Обозначение | ISO 14606:2022 |
Статус | Действует |
Вид стандарта | ST |
Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Профилирование глубины напыления. Оптимизация с помощью послойных систем в качестве стандартных образцов |
Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis Sputter depth profiling Optimization using layered systems as reference materials |
Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
Обозначение заменяемого(ых) | ISO 14606:2015 |
ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 4 |
Язык оригинала | английский |
Номер издания | 3 |
Дата опубликования | 21.11.2022 |
Количество страниц оригинала | 24 |
Код цены | C |
Примечание | |
 |