|  | 
|  | 
| Библиография| Обозначение | KS C IEC IEEE 62659(2022 Confirm) |  | Международный стандарт | IEC 62659:2015(IDT) |  | Заглавие на английском языке | Nanomanufacturing  -  Large scale manufacturing for nanoelectronics |  | Дата опубликования | 2017.05.02 |  | Код МКС | 07.030,25.020 |  |  | 
 | 
|  | 
| Стандарт KS C IEC IEEE 62659(2022 Confirm) входит в рубрики классификатора:
 |  |  |  |  |  | 
 
 |