|
 |
Библиография | Обозначение | ISO 8181:2023 | | Статус | Действует | | Вид стандарта | ST | | Заглавие на русском языке | Атомно-слоевое осаждение. Словарь | | Заглавие на английском языке | Atomic layer deposition Vocabulary | | Код КС (ОКС, МКС) | 01.040.25; 25.220.01 | | ТК – разработчик стандарта | TC 107 | | Язык оригинала | английский | | Номер издания | 1 | | Дата опубликования | 16.10.2023 | | Количество страниц оригинала | 18 | | Код цены | A | | Примечание | | |
|
|
Стандарт ISO 8181:2023 входит в рубрики классификатора:
| | | | | |
|