GB/T 16878-1997 | | | Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture |
|
|
 |
Библиография | Обозначение | GB/T 16878-1997 | | Заглавие на английском языке | Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture | | Дата опубликования | 1997-06-20 | | Дата вступления в силу | 1998-03-01 | | Код МКС | 31.200 | | Разработан на основе | SEMI P19:1992 | | Степень гармонизации | IDT | | Количество страниц оригинала | 16 | | Статус | Published | | Тип стандарта | voluntary national standard | | Язык оригинала | Chinese | | Доступные языки | | | Имя файла | | | CCS Code | L97 | |
|
|
Стандарт GB/T 16878-1997 входит в рубрики классификатора:
| | |
|