GB/T 40110-2021 | | | Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy |
|
|
 |
Библиография | Обозначение | GB/T 40110-2021 | | Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy | | Дата опубликования | 2021-05-21 | | Дата вступления в силу | 2021-12-01 | | Код МКС | 71.040.40 | | Разработан на основе | ISO 14706:2014 | | Степень гармонизации | IDT | | Количество страниц оригинала | 28 | | Статус | Published | | Тип стандарта | voluntary national standard | | Язык оригинала | Chinese | | Доступные языки | | | Имя файла | | | GPQ | G04 | |
|
|
Стандарт GB/T 40110-2021 входит в рубрики классификатора:
| | |
|