GB/T 32814-2016 | | | Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process |
|
|
 |
Библиография | Обозначение | GB/T 32814-2016 | | Заглавие на английском языке | Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process | | Дата опубликования | 2016-08-29 | | Дата вступления в силу | 2017-03-01 | | Код МКС | 31.200 | | Степень гармонизации | | | Количество страниц оригинала | 16 | | Статус | Published | | Тип стандарта | voluntary national standard | | Язык оригинала | Chinese | | Доступные языки | | | Имя файла | | | CCS Code | L55 | |
|
|
Стандарт GB/T 32814-2016 входит в рубрики классификатора:
| | |
|