GB/T 28276-2012 | | | Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process |
|
|
 |
Библиография | Обозначение | GB/T 28276-2012 | | Заглавие на английском языке | Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process | | Дата опубликования | 2012-05-11 | | Дата вступления в силу | 2012-12-01 | | Код МКС | 31.200 | | Степень гармонизации | | | Количество страниц оригинала | 16 | | Статус | Published | | Тип стандарта | voluntary national standard | | Язык оригинала | Chinese | | Доступные языки | | | Имя файла | | | CCS Code | L55 | |
|
|
Стандарт GB/T 28276-2012 входит в рубрики классификатора:
| | |
|