| Обозначение | GB/T 16596-2019 |
| Заглавие на английском языке | Specification for establishing a wafer coordinate system |
| Дата опубликования | 2019-03-25 |
| Дата вступления в силу | 2020-02-01 |
| Код МКС | 29.045 |
| Обозначение заменяемого(ых) | GB/T 16596-1996 |
| Степень гармонизации | |
| Количество страниц оригинала | 8 |
| Статус | Published |
| Тип стандарта | voluntary national standard |
| Язык оригинала | Chinese |
| Доступные языки | |
| Имя файла | |
| GPQ | H80 |
 |