GB/T 34893-2017 | | | Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer |
|
|
 |
Библиография | Обозначение | GB/T 34893-2017 | | Заглавие на английском языке | Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer | | Дата опубликования | 2017-11-01 | | Дата вступления в силу | 2018-05-01 | | Код МКС | 31.200 | | Степень гармонизации | | | Количество страниц оригинала | 12 | | Статус | Published | | Тип стандарта | voluntary national standard | | Язык оригинала | Chinese | | Доступные языки | | | Имя файла | | | GPQ | L55 | |
|
|
Стандарт GB/T 34893-2017 входит в рубрики классификатора:
| | |
|