| Обозначение | GB/T 6620-2009 |
| Заглавие на английском языке | Test method for measuring warp on silicon slices by noncontact scanning |
| Дата опубликования | 2009-10-30 |
| Дата вступления в силу | 2010-06-01 |
| Код МКС | 29.045 |
| Обозначение заменяемого(ых) | GB/T 6620-1995 |
| Разработан на основе | SEMI MF657-0705 |
| Степень гармонизации | MOD |
| Количество страниц оригинала | 12 |
| Статус | Published |
| Тип стандарта | voluntary national standard |
| Язык оригинала | Chinese |
| Доступные языки | |
| Имя файла | |
| GPQ | H82 |
 |