Библиография Обозначение | GB/T 26066-2010 | Заглавие на английском языке | practice for shallow etch pit detection on silicon | Дата опубликования | 2011-01-10 | Дата вступления в силу | 2011-10-01 | Код МКС | 29.045 | Степень гармонизации | | Количество страниц оригинала | 8 | Статус | Published | Тип стандарта | voluntary national standard | Язык оригинала | Chinese | Доступные языки | | Имя файла | | GPQ | H80 |  |
|