| Обозначение | IEC 62047-45(2025) |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 45. Технология изготовления МЭМС на основе кремния. Метод измерения ударной прочности наноструктур |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 45: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of impact resistance of nanostructures |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 20.03.2025 |
| Язык оригинала | английский |
| Количество страниц оригинала | 15 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | D |
 |