| Обозначение | IEC 62047-53(2025) |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 53. Электротермическое передающее устройство MEMS |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 53: MEMS electrothermal transfer device |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 02.10.2025 |
| Язык оригинала | английский |
| Количество страниц оригинала | 14 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | D |
 |