Библиография | Обозначение | GB/T 44928-2024 | | Заглавие на английском языке | Terms of microlithography technology for microelectronics | | Дата опубликования | 2024-12-31 | | Дата вступления в силу | 2024-12-31 | | Код МКС | 31.030 | | Степень гармонизации | | | Количество страниц оригинала | 192 | | Статус | Published | | Тип стандарта | voluntary national standard | | Язык оригинала | Chinese | | Доступные языки | | | Имя файла | | | GPQ | L90 |  |
|