GB/T 17866-1999 | | | Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems |
|
|
 |
Библиография | Обозначение | GB/T 17866-1999 | | Заглавие на английском языке | Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems | | Дата опубликования | 1999-09-13 | | Дата вступления в силу | 2000-06-01 | | Код МКС | 31.200 | | Разработан на основе | SEMI P23:1993 | | Степень гармонизации | IDT | | Количество страниц оригинала | 16 | | Статус | Published | | Тип стандарта | voluntary national standard | | Язык оригинала | Chinese | | Доступные языки | | | Имя файла | | | GPQ | L56 | |
|
|
Стандарт GB/T 17866-1999 входит в рубрики классификатора:
| | |
|