| Обозначение | GB/T 24578-2024 |
| Заглавие на английском языке | Test method for measuring surface metal contamination on semiconductor wafers —Total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy |
| Дата опубликования | 2024-07-24 |
| Дата вступления в силу | 2025-02-01 |
| Код МКС | 77.040 |
| Обозначение заменяемого(ых) | GB/T 24578-2015,GB/T 34504-2017 |
| Степень гармонизации | |
| Количество страниц оригинала | 20 |
| Статус | Published |
| Тип стандарта | voluntary national standard |
| Язык оригинала | Chinese |
| Доступные языки | |
| Имя файла | |
| GPQ | H21 |
 |