| Обозначение | GB/T 15872-2013 |
| Заглавие на английском языке | Power supply interface for semiconductor equipment |
| Дата опубликования | 2013-12-17 |
| Дата вступления в силу | 2014-05-15 |
| Код МКС | 31.220.10 |
| Обозначение заменяемого(ых) | GB/T 15872-1995 |
| Степень гармонизации | |
| Количество страниц оригинала | 12 |
| Статус | Published |
| Тип стандарта | voluntary national standard |
| Язык оригинала | Chinese |
| Доступные языки | |
| Имя файла | |
| GPQ | L23 |
 |