| Обозначение | IEC 62047-4(2026) |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 4. Общие технические условия на MEMS |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 07.01.2026 |
| Язык оригинала | английский |
| Количество страниц оригинала | 19 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
| Номер издания | 2.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | |
 |