| Обозначение | GB/T 14140-2025 |
| Заглавие на английском языке | Test method for measuring diameter of semiconductor wafer |
| Дата опубликования | 2025-08-01 |
| Дата вступления в силу | 2026-02-01 |
| Код МКС | 77.040 |
| Обозначение заменяемого(ых) | GB/T 14140-2009,GB/T 30866-2014 |
| Степень гармонизации | |
| Количество страниц оригинала | 12 |
| Статус | Published |
| Тип стандарта | voluntary national standard |
| Язык оригинала | Chinese |
| Доступные языки | |
| Имя файла | |
| GPQ | H17 |
 |