 |
 |
|
|
|
|
|
|
|
расширенный поиск | карта сайта |
|
|
|
DIN EN 62047-16-2015 |  на печать | | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 16. Методы определения остаточных напряжений в пленках MEMS. Методы определения отклонения кантилеверной балки и кривизны пластины |
|
| | Библиография | Обозначение | DIN EN 62047-16-2015 | | Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 16. Методы определения остаточных напряжений в пленках MEMS. Методы определения отклонения кантилеверной балки и кривизны пластины | | Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (IEC 62047-16:2015); German version EN 62047-16:2015 | | Дата опубликования | 01.12.2015 | | МКС | 31.080.01*31.220.01 | | Вид стандарта | ST | | Обозначение заменяемого(ых) | DIN EN 62047-16(2012-11) | | Язык оригинала | немецкий | | Количество страниц оригинала | 13 | | Перекрестные ссылки | IEC 62047-21(2014-06) | | Код цены | Preisgruppe 12 | |
| | Стандарт DIN EN 62047-16-2015 входит в рубрики классификатора:
| | | | | |
| |
|
|
|
| Цены |
| На языке оригинала |
Пишите на gost@gostinfo.ru
|
|
|
|