| Обозначение | DIN EN 62047-16-2015 |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 16. Методы определения остаточных напряжений в пленках MEMS. Методы определения отклонения кантилеверной балки и кривизны пластины |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (IEC 62047-16:2015); German version EN 62047-16:2015 |
| Дата опубликования | 01.12.2015 |
| МКС | 31.080.01*31.220.01 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN EN 62047-16(2012-11) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 13 |
| Перекрестные ссылки | IEC 62047-21(2014-06) |
| Код цены | Preisgruppe 12 |
 |