 |
 |
|
|
|
|
|
|
|
расширенный поиск | карта сайта |
|
|
|
IEC 62047-46(2025) |  на печать | | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 46. Технология изготовления МЭМС на основе кремния. Метод измерения прочности на разрыв мембраны наноразмерной толщины |
|
| | Библиография | Обозначение | IEC 62047-46(2025) | | Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 46. Технология изготовления МЭМС на основе кремния. Метод измерения прочности на разрыв мембраны наноразмерной толщины | | Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 46: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of tensile strength of nanoscale thickness membrane | | МКС | 31.080.99 | | Вид стандарта | ST | | Дата опубликования | 23.04.2025 | | Язык оригинала | английский | | Количество страниц оригинала | 15 | | ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F | | Номер издания | 1.0 | | Статус | Действует | | Код цены | D | |
| | Стандарт IEC 62047-46(2025) входит в рубрики классификатора:
| | |
| |
|
|
|
| Цены |
| На языке оригинала |
14976,00
|
|
|
|