| Обозначение | IEC 62047-46(2025) |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 46. Технология изготовления МЭМС на основе кремния. Метод измерения прочности на разрыв мембраны наноразмерной толщины |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 46: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of tensile strength of nanoscale thickness membrane |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 23.04.2025 |
| Язык оригинала | английский |
| Количество страниц оригинала | 15 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | D |
 |