Обозначение | ISO 18114:2003 |
Статус | Заменен |
Вид стандарта | ST |
Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия с вторичными ионами. Определение коэффициентов относительной чувствительности по эталонным материалам с имплантированными ионами |
Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials |
Дата отмены | 11.05.2021 00:00:00 |
Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
Обозначение заменяющего | ISO 18114:2021 |
ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 6 |
Язык оригинала | английский |
Номер издания | 1 |
Дата опубликования | 24.04.2003 |
Количество страниц оригинала | 12 |
Код цены | A |
Примечание | |
![](/i/imgs/sp.gif) |