| Обозначение | ISO 20341:2003 |
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия с применение вторичного йона. Метод оценки параметров по глубине разрешения с множественными дельта-слойными эталонными материалами |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials |
| Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 6 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 1 |
| Дата опубликования | 31.07.2003 |
| Количество страниц оригинала | 11 |
| Код цены | A |
| Примечание | |
 |