| Обозначение | ISO 17560:2002 |
| Статус | Заменен |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Анализ поверхностей химический. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод профилирования по глубине для бора в кремнии |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis. Secondary-ion mass spectrometry. Method for depth profiling of boron in silicon |
| Дата отмены | 10.09.2014 00:00:00 |
| Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
| Обозначение заменяющего | ISO 17560:2014 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 6 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 1 |
| Дата опубликования | 18.07.2002 |
| Количество страниц оригинала | 16 |
| Код цены | |
| Примечание | |
 |