| Обозначение | ISO 23812:2009 |
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод калибровки глубины для кремния с помощью многослойных дельта-эталонных материалов |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth calibration for silicon using multiple delta-layer reference materials |
| Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 6 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 1 |
| Дата опубликования | 08.04.2009 |
| Количество страниц оригинала | 26 |
| Код цены | D |
| Примечание | |
 |