| Обозначение | ISO 12406:2010 |
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Поверхностный химический анализ. Масс-спектрометрия с вторичным ионом. Метод профилирования глубины местонахождения мышьяка в кремнии |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth profiling of arsenic in silicon |
| Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 6 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 1 |
| Дата опубликования | 08.11.2010 |
| Количество страниц оригинала | 20 |
| Код цены | C |
| Примечание | |
 |