| Обозначение | ISO 16531:2013 |
| Статус | Заменен |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Поверхностный химический анализ. Профиль распределения примеси по глубине. Методы регулирования ионного пучка и связанное с этим измерение тока и плотности тока для профилирования примеси по глубине в AES и XPS |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis -- Depth profiling -- Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS |
| Дата отмены | 05.10.2020 01:00:00 |
| Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
| Обозначение заменяющего | ISO 16531:2020 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 4 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 1 |
| Дата опубликования | 16.05.2013 |
| Количество страниц оригинала | 26 |
| Код цены | C |
| Примечание | |
 |