| Обозначение | ISO 14706:2014 |
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Определение загрязнения химическими элементами поверхности кремниевых пластин методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF) |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis -- Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy |
| Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
| Обозначение заменяемого(ых) | ISO 14706:2000 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 2 |
| Дата опубликования | 25.07.2014 |
| Количество страниц оригинала | 32 |
| Код цены | D |
| Примечание | |
 |