| Обозначение | ISO 17560:2014 |
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод профилирования по глубине для бора в кремнии |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth profiling of boron in silicon |
| Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
| Обозначение заменяемого(ых) | ISO 17560:2002 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 6 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 2 |
| Дата опубликования | 10.09.2014 |
| Количество страниц оригинала | 18 |
| Код цены | B |
| Примечание | |
 |