Обозначение | ISO 17560:2014 |
Статус | Действует |
Вид стандарта | ST |
Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод профилирования по глубине для бора в кремнии |
Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth profiling of boron in silicon |
Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
Обозначение заменяемого(ых) | ISO 17560:2002 |
ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 6 |
Язык оригинала | английский |
Номер издания | 2 |
Дата опубликования | 10.09.2014 |
Количество страниц оригинала | 18 |
Код цены | B |
Примечание | |
|