| Обозначение | ISO 17109:2015 |
| Статус | Заменен |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Поверхностный химический анализ. Профилирование по глубине. Метод определения скорости напыления с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, Оже-электронной спектроскопии и вторично-ионной масс-спектрометрии при профилировании по глубине распыления с использованием однослойных и многослойных тонких пленок |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis -- Depth profiling -- Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layer thin films |
| Дата отмены | 01.03.2022 01:00:00 |
| Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
| Обозначение заменяющего | ISO 17109:2022 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 4 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 1 |
| Дата опубликования | 28.07.2015 |
| Количество страниц оригинала | 24 |
| Код цены | C |
| Примечание | Документ содержит цветные иллюстрации |
 |