| Обозначение | ISO 13083:2015 |
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Стандарты на определение и калибровку пространственной разрешающей способности электрических сканирующих зондовых микроскопов (ESPM), таких как SSRM и SCM, для 2D-визуализации примесей и других целей |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis -- Scanning probe microscopy -- Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes |
| Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 9 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 1 |
| Дата опубликования | 20.08.2015 |
| Количество страниц оригинала | 22 |
| Код цены | C |
| Примечание | Документ содержит цветные иллюстрации |
 |