| Обозначение | OVE/ONORM EN 62047-16:2016 02 01 |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 16. Методы определения остаточных напряжений в пленках MEMS. Методы определения отклонения кантилеверной балки и кривизны пластины |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films – Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (IEC 62047-16:2015) (english version) |
| Код МКС | 31.080.01 31.080.99 31.220.01 |
| Дата опубликования | 01.02.2016 |
| Язык оригинала | английский |
 |