| Обозначение | DIN 50450-8-2000 |
| Заглавие на русском языке | Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение примесей в газах-носителях примесных газах. Часть 8. Определение концентрации числа частиц в потоке азота, использующие лазерный счетчик частиц |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 8: Determination of the concentration of the particle number in flowing nitrogen using laser particle counter |
| Дата опубликования | 01.05.2000 |
| МКС | 71.100.20 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50450-8(1998-04) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 5 |
| Перекрестные ссылки | VDI 3489 Blatt 3(1997-03)*VDI 3490 Blatt 16(1994-10) |
| Код цены | Preisgruppe 6 |
 |