| Обозначение | ISO 14701:2018 | 
| Статус | Действует | 
| Вид стандарта | ST | 
| Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Измерение толщины диоксида кремния | 
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis -- X-ray photoelectron spectroscopy -- Measurement of silicon oxide thickness | 
| Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 | 
| Обозначение заменяемого(ых) | ISO 14701:2011 | 
| ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 7 | 
| Язык оригинала | английский | 
| Номер издания | 2 | 
| Дата опубликования | 31.10.2018 | 
| Количество страниц оригинала | 24 | 
| Код цены | C | 
| Примечание |  | 
|  |