Обозначение | ISO 14701:2018 |
Статус | Действует |
Вид стандарта | ST |
Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Измерение толщины диоксида кремния |
Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis -- X-ray photoelectron spectroscopy -- Measurement of silicon oxide thickness |
Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
Обозначение заменяемого(ых) | ISO 14701:2011 |
ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 7 |
Язык оригинала | английский |
Номер издания | 2 |
Дата опубликования | 31.10.2018 |
Количество страниц оригинала | 24 |
Код цены | C |
Примечание | |
 |