| Обозначение | ISO 22278:2020 |
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Керамика тонкая (высококачественная керамика, высококачественная техническая керамика). Определение кристаллического качества монокристаллических тонких пленок (подложек) методом дифракционного рентгеновского анализа (XRD) с параллельным рентгеновским лучом |
| Заглавие на английском языке | Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam |
| Код КС (ОКС, МКС) | 81.060.30 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 206 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 1 |
| Дата опубликования | 24.08.2020 |
| Количество страниц оригинала | 36 |
| Код цены | E |
| Примечание | |
 |