Постоянная ссылка
https://www.standards.ru/document/6899005.aspx

KS C 6520

Components and materials of semiconductor process - Measurement of wear characteristics by plasma

На языке оригиналаПоложить в корзину
Заказать перевод

Библиография

ОбозначениеKS C 6520
Заглавие на английском языкеComponents and materials of semiconductor process - Measurement of wear characteristics by plasma
Дата опубликования2021.12.29
Код МКС31.080

Стандарт KS C 6520 входит в рубрики классификатора: