KS C 6520
Components and materials of semiconductor process - Measurement of wear characteristics by plasma
На языке оригинала
Заказать перевод
Библиография
Обозначение
KS C 6520
Заглавие на английском языке
Components and materials of semiconductor process - Measurement of wear characteristics by plasma
Дата опубликования
2021.12.29
Код МКС
31.080
Стандарт KS C 6520 входит в рубрики классификатора:
ОКС \ ЭЛЕКТРОНИКА \ Полупроводниковые приборы * Полупроводниковые материалы см. 29.045 \
Постоянная ссылка
https://www.standards.ru/document/6899005.aspx