| Обозначение | IEC 62047-44(2024) |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 44. Методы измерения динамических характеристик МЭМС-резонаторов, чувствительных к электрическому полю |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 44: Test methods for dynamic performances of MEMS resonant electric-field-sensitive devices |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 22.02.2024 |
| Язык оригинала | английский |
| Количество страниц оригинала | 19 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | E |
 |