KS D ISO 14706 | | | Surface chemical analysis - Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy |
|
|
 |
Библиография | Обозначение | KS D ISO 14706 | | Международный стандарт | ISO 14706:2014(IDT) | | Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis - Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy | | Дата опубликования | 2025.05.12 | | Код МКС | 71.040.40 | |
|
|
Стандарт KS D ISO 14706 входит в рубрики классификатора:
| | |
|